晶圓準(zhǔn)備:
首先,選擇合適的晶圓作為基材,通常選擇硅基片作為晶圓。
對(duì)晶圓進(jìn)行清潔和表面處理,以確保凸點(diǎn)能夠良好地附著。
凸點(diǎn)形成:
金屬化:在晶圓表面通過(guò)物理氣相沉積(PVD)或化學(xué)氣相沉積(CVD)等技術(shù),沉積一層金屬膜,如銅、鎳、錫等。這一步驟被稱(chēng)為金屬化,為后續(xù)形成焊點(diǎn)做準(zhǔn)備。
光刻:通過(guò)在金屬化層上涂覆光刻膠,然后通過(guò)光刻曝光、顯影等步驟,形成光刻圖形,即將焊球位置的圖形暴露出來(lái)。
蝕刻:使用酸性或堿性溶液對(duì)未被光刻保護(hù)的金屬層進(jìn)行蝕刻,形成焊球的基礎(chǔ)。
焊球形成:在暴露的金屬基礎(chǔ)上,通過(guò)電鍍或其他方法,沉積焊球材料(通常是錫合金)來(lái)形成微小的焊球。
芯片接合:
將經(jīng)過(guò)凸點(diǎn)形成的晶圓與芯片進(jìn)行接合,通常采用焊接等技術(shù),將芯片的金屬引腳與焊球連接起來(lái)。
封裝和測(cè)試:
將接合完成的芯片放置在PCB或其他基板上,并使用封裝工藝將其封裝起來(lái)。
完成封裝后,對(duì)芯片進(jìn)行測(cè)試,以確保焊點(diǎn)連接的質(zhì)量和可靠性。