切割:
從晶圓代工廠(Foundry)生產(chǎn)完成的晶圓(Wafer)經(jīng)過測試后進(jìn)入生產(chǎn)線類似傳統(tǒng)封裝,扇出型封裝第一步也需要將來料晶圓切割成為裸晶。扇出型封裝的主要特點(diǎn)是將切割后的裸晶組合成為重構(gòu)晶圓,與來料晶圓相比,重構(gòu)晶圓上裸晶之間的距離相對更大,因此方便構(gòu)造單位面積更大,輸入輸出(I/O)更多的芯片成品。
塑封、去除載片:
完成重構(gòu)晶圓的貼片后,對重構(gòu)晶圓進(jìn)行塑封以固定和保護(hù)裸晶。然后將重構(gòu)晶圓載片移除,從而將裸晶對外的輸入輸出接口(I/O)露出。
制作再布線層:
為了將裸晶上的接口(I/O)引出至方便焊接的位置,在晶圓上通過金屬布線工藝制作再布線層(RDL)。
晶圓減薄:
為使芯片成品更輕薄,對晶圓進(jìn)行減薄加工。
植球:
在再布線層(RDL)所連接的金屬焊盤上進(jìn)行植球,方便后續(xù)芯片在印刷電路板(PCB)上的焊接。
晶圓切割、芯片成品:
最后將重構(gòu)晶圓進(jìn)行切割,以得到獨(dú)立的芯片。