晶圓準備:
首先,選擇合適的晶圓作為基材,通常選擇硅基片作為晶圓。
對晶圓進行清潔和表面處理,以確保凸點能夠良好地附著。
凸點形成:
金屬化:在晶圓表面通過物理氣相沉積(PVD)或化學氣相沉積(CVD)等技術(shù),沉積一層金屬膜,如銅、鎳、錫等。這一步驟被稱為金屬化,為后續(xù)形成焊點做準備。
光刻:通過在金屬化層上涂覆光刻膠,然后通過光刻曝光、顯影等步驟,形成光刻圖形,即將焊球位置的圖形暴露出來。
蝕刻:使用酸性或堿性溶液對未被光刻保護的金屬層進行蝕刻,形成焊球的基礎(chǔ)。
焊球形成:在暴露的金屬基礎(chǔ)上,通過電鍍或其他方法,沉積焊球材料(通常是錫合金)來形成微小的焊球。
芯片接合:
將經(jīng)過凸點形成的晶圓與芯片進行接合,通常采用焊接等技術(shù),將芯片的金屬引腳與焊球連接起來。
封裝和測試:
將接合完成的芯片放置在PCB或其他基板上,并使用封裝工藝將其封裝起來。
完成封裝后,對芯片進行測試,以確保焊點連接的質(zhì)量和可靠性。